近日,由上海化工研究院領(lǐng)銜研發(fā)的1000公斤/年電子級(jí)高豐度硼-11同位素生產(chǎn)工藝在山東合益氣體股份有限公司實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定量產(chǎn),順利獲得豐度在99.9%以上的三氟化硼-11產(chǎn)品,關(guān)鍵指標(biāo)已趕超國(guó)外進(jìn)口的同類產(chǎn)品,上?;ぱ芯吭旱姆磻?yīng)與精密精餾耦合工程技術(shù)在同位素分離領(lǐng)域又一次實(shí)現(xiàn)重要突破。
該項(xiàng)目采用苯甲醚化學(xué)交換法生產(chǎn)硼-11同位素,是上海化工研究院繼同位素氫-2、氮-15、氖-22、氧-18、碳-13等成功開發(fā)并實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化后的又一個(gè)穩(wěn)定同位素產(chǎn)品,也是我國(guó)近幾十年研發(fā)硼同位素以來的首次國(guó)產(chǎn)化成功。
據(jù)介紹,上?;ぱ芯吭号c山東合益公司于2020年1月正式簽訂合作協(xié)議后,以國(guó)家級(jí)同位素中心為主體,與合作方的技術(shù)團(tuán)隊(duì)共同科研攻關(guān);2021年9月完成中試;2022年3月啟動(dòng)生產(chǎn)裝置建設(shè)。
建設(shè)期間,項(xiàng)目的各合作單位積極應(yīng)對(duì)新冠疫情對(duì)基建供應(yīng)鏈及工程進(jìn)度的不利影響,確保了項(xiàng)目按時(shí)竣工驗(yàn)收,并于2022年10月正式進(jìn)入試生產(chǎn)階段,實(shí)現(xiàn)一次性開車成功,項(xiàng)目裝置的各關(guān)鍵工藝參數(shù)均達(dá)到指標(biāo)。目前,上?;ぱ芯吭汉秃弦婀镜捻?xiàng)目技術(shù)團(tuán)隊(duì)正共同圍繞提高產(chǎn)品品質(zhì)、發(fā)揮裝置產(chǎn)能等開展進(jìn)一步的優(yōu)化提升,為規(guī)?;a(chǎn)夯實(shí)基礎(chǔ)。
據(jù)悉,高豐度三氟化硼-11是高端芯片、面板等制造中重要的特種氣體材料,與普通豐度三氟化硼摻雜相比,其可以顯著提升芯片的穩(wěn)定性和抗干擾能力,被廣泛用于通訊、國(guó)防、航空航天等領(lǐng)域中。在上?;ぱ芯吭簩?shí)現(xiàn)技術(shù)突破之前,全球僅美國(guó)和格魯吉亞擁有3套該產(chǎn)品的生產(chǎn)裝置,我國(guó)相關(guān)技術(shù)和產(chǎn)品完全依賴進(jìn)口。該項(xiàng)目開發(fā)了具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的流程模擬計(jì)算、新型填料、反應(yīng)設(shè)計(jì)、過程控制、設(shè)備選型、檢測(cè)方法等國(guó)內(nèi)首創(chuàng)的工藝技術(shù),不僅填補(bǔ)了我國(guó)在高豐度硼-11同位素產(chǎn)業(yè)上的空白,打破了國(guó)外龍頭企業(yè)的壟斷,還對(duì)于我國(guó)提升半導(dǎo)體基礎(chǔ)材料自給率、維護(hù)產(chǎn)業(yè)鏈安全具有重要意義。(陳鴻應(yīng))