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| 項(xiàng)目 | 內(nèi)容 |
|---|---|
| 電子槍 | 預(yù)對(duì)中燈絲 |
| 檢測(cè)系統(tǒng) | 高靈敏度4分割半導(dǎo)體背散射電子檢測(cè)器 |
| 加速電壓 | 5 kV/15 kV |
| 倍率 | ×15～×60,000（使用數(shù)碼變焦時(shí)：×240,000） |
| 觀察壓力 | 大氣壓模式（105 Pa）（裝有隔膜時(shí)） |
| 負(fù)壓模式（約103 Pa～105 Pa）（裝有隔膜時(shí)） | |
| 低真空模式（數(shù) Pa～數(shù)10 Pa）（拆下隔膜時(shí)） | |
| 最大樣品尺寸 | 直徑55 mm |
| 大小和重量 | 主機(jī)：330（W）×687（D）×565（H）mm, 67.0 kg（手動(dòng)操作臺(tái)） 控制裝置：220（W）×368（D）×235（H）mm, 11.8 kg 隔膜泵：145（W）×256（D）×217（H）mm, 4.5 kg ×2臺(tái) |
含水樣品也無(wú)需前處理即可在大氣壓下進(jìn)行SEM觀察
從低真空到大氣壓（數(shù) Pa～105 Pa），可在大范圍壓力下進(jìn)行SEM觀察
標(biāo)準(zhǔn)搭載ES-Corrector（電子束散射校正）圖像改善功能
在真空模式下，除了通常的SEM觀察之外，還可進(jìn)行EDX分析（選配）
主機(jī)采用330 mm寬度的小型設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)節(jié)省空間和高便利性
無(wú)需等待抽真空時(shí)間，快速實(shí)現(xiàn)從搭載樣品到觀察圖像的全過(guò)程