項(xiàng)目		內(nèi)容
分解能*3		4.0 nm @ 20 kV （SE：高真空模式） 15.0 nm @ 1 kV （SE：高真空模式） 5.0 nm @ 20 kV （BSE：低真空模式）
加速電壓		0.3 kV ～ 20 kV
放大倍率		6× ～ 300,000× （底片倍率） 16× ～ 800,000× （顯示倍率）
低真空模式		真空范圍：6 ～ 100 Pa
電子槍		預(yù)對(duì)中鎢燈絲
樣品臺(tái)		3-軸自動(dòng)馬達(dá)臺(tái) X：0 ～ 40 mm, Y：0 ～ 50 mm, Z：5 ～ 15 mm R：360°, T：-15° ～ ＋90°
最大樣品尺寸		直徑80 mm
最大樣品高度		40 mm
尺寸		主機(jī)：450（W） x 640（D） x 670（H） mm 供電單元：450（W） x 640（D） x 450（H） mm
探測(cè)器選配		高靈敏度低真空二次電子探測(cè)器（UVD） 能量分散型X線探測(cè)器（EDS）

*3

主機(jī)與供電單元組合使用

*

PC、桌子、機(jī)械泵、顯示器需要本地采購(gòu)

緊湊型設(shè)計(jì)，分辨率為4 nm*1

通過高靈敏度二次電子探測(cè)器，背散射探測(cè)器，低真空探測(cè)器（UVD*2），實(shí)現(xiàn)低加速電壓/低真空下高質(zhì)量圖像觀察

操作簡(jiǎn)捷，即使新手也能拍出高質(zhì)量的圖片

新開發(fā)的導(dǎo)航功能「SEM MAP」，便于快速鎖定視野

大窗口（30 mm2）SDD能譜系統(tǒng)，便于快速分析元素成分*2

*1設(shè)置在桌面時(shí)，分離主機(jī)和電源箱*2選配