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| 型號 | FT9400 | FT9450 | FT9455 |
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| 測量元素 | 原子序號Ti（22）～Bi（83） 原子序號21以下的元素可通過吸收法測量 |
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| X射線源 | 空冷式小型X射線管 管電壓：50（可變更）kV 管電流： 10～1000 µA |
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| 檢測器 | 比例計數(shù)管＋半導(dǎo)體檢測器（無需液氮） | ||
| 準直器 | 4種類(0.015, 0.05, 0.1, 0.2 mmφ) | ||
| X射線聚光 | 激光對焦 | ||
| 濾波器 | 一次濾波器： Mo－自動切換 | ||
| 樣品區(qū)域 | X:240 mm, Y:170 mm X:220 mm, Y:150 mm, Z:150 mm |
X:420 mm, Y:330 mm X:400 mm, Y:300 mm, Z:50 mm |
X:700 mm, Y:600 mm X:400 mm, Y:300 mm, Z:15 mm |
| 測量軟件 | 薄膜FP法（最大5層、10種元素）、檢量線法、塊體FP法（材料組成分析） | ||
| 安全功能 | 樣品室門聯(lián)鎖、樣品沖突防止功能、儀器診斷功能 | ||
選購項
- 電鍍液分析（塊體標準曲線）
- 能譜匹配軟件（材料辨別）
- 掃描（強度面分析多點表示）軟件
搭載在X射線能量分辨率上，優(yōu)秀的半導(dǎo)體檢測器（起作用液化氮）和計數(shù)率優(yōu)秀的比例計數(shù)管，能夠根據(jù)運用需要對應(yīng)使用。特點是半導(dǎo)體檢測器，能夠區(qū)分Ni和Cu這樣相似的元素。它有以下的特點：
1. 能夠?qū)i/Cu和Au/Ni/Cu不需要二次過濾的情況下進行測定
2.對于含Br的打印基板，可以做到不受Br干擾進行高精度的Au鍍膜厚度測定
3.能夠測定0.01μm以下極薄的Au鍍膜
4. 薄膜FP軟件
對應(yīng)含鉛的合金鍍膜和多層鍍膜等，適用于廣泛的運用領(lǐng)域。
5. 適用測定極微小部分
15μmΦ的準直管為標準裝備。能夠測定微小部分鍍膜厚度。
6. 搭載75W高性能X射線管
7. 容易對微小領(lǐng)域進行觀察
搭載了能4階段切換的可變焦距光學系統(tǒng)。
8. 能夠測定大型打印基板的大型平臺
9. 依據(jù)照明，能夠觀察以往難以觀察的樣品
10. 搭載了防止有凹凸的樣品碰撞的傳感器
11. 利用伺服馬達精確的驅(qū)動平臺
12. 正確的對焦
利用激光能夠正確得對焦測試樣品。
13. 報告制作軟件
運用微軟的軟件能夠簡單得把測定的數(shù)據(jù)制作成書面材料。