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| 項(xiàng)目 | 內(nèi)容 | |
|---|---|---|
| 分解能*3 | 4.0 nm @ 20 kV （SE：高真空模式） 15.0 nm @ 1 kV （SE：高真空模式） 5.0 nm @ 20 kV （BSE：低真空模式） |
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| 加速電壓 | 0.3 kV ～ 20 kV | |
| 放大倍率 | 6× ～ 300,000× （底片倍率） 16× ～ 800,000× （顯示倍率） |
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| 低真空模式 | 真空范圍：6 ～ 100 Pa | |
| 電子槍 | 預(yù)對(duì)中鎢燈絲 | |
| 樣品臺(tái) | 3-軸自動(dòng)馬達(dá)臺(tái) X：0 ～ 40 mm, Y：0 ～ 50 mm, Z：5 ～ 15 mm R：360°, T：-15° ～ ＋90° |
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| 最大樣品尺寸 | 直徑80 mm | |
| 最大樣品高度 | 40 mm | |
| 尺寸 | 主機(jī)：450（W） x 640（D） x 670（H） mm 供電單元：450（W） x 640（D） x 450（H） mm |
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| 探測(cè)器選配 |
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- *3
- 主機(jī)與供電單元組合使用
- *
- PC、桌子、機(jī)械泵、顯示器需要本地采購(gòu)
緊湊型設(shè)計(jì)，分辨率為4 nm*1
通過(guò)高靈敏度二次電子探測(cè)器，背散射探測(cè)器，低真空探測(cè)器（UVD*2），實(shí)現(xiàn)低加速電壓/低真空下高質(zhì)量圖像觀察
操作簡(jiǎn)捷，即使新手也能拍出高質(zhì)量的圖片
新開(kāi)發(fā)的導(dǎo)航功能「SEM MAP」，便于快速鎖定視野
大窗口（30 mm2）SDD能譜系統(tǒng)，便于快速分析元素成分*2
*1設(shè)置在桌面時(shí)，分離主機(jī)和電源箱*2選配