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1. 通過自動(dòng)定位功能提高操作性
測(cè)量樣品時(shí)，以往需花費(fèi)約10秒的樣品對(duì)焦，現(xiàn)在3秒內(nèi)即可完成，大大提高樣品定位的操作性。
2. 微區(qū)膜厚測(cè)量精度提高
通過縮小與樣品間的距離等，致使在微小準(zhǔn)直器（0.1、0.2mm）下，也能夠大幅度提高膜厚測(cè)量的精度。
3. 多達(dá)5層的多鍍層測(cè)量
使用薄膜FP法軟件，即使沒有厚度標(biāo)準(zhǔn)片也可進(jìn)行多達(dá)5層10元素的多鍍層測(cè)量。
4. 廣域觀察系統(tǒng)（選配）
可從最大250×200mm的樣品整體圖像指定測(cè)量位置。
5. 對(duì)應(yīng)大型印刷線路板（選配）
可對(duì)600×600mm的大型印刷線路板進(jìn)行測(cè)量。
6. 低價(jià)位
與以往機(jī)型相比，既提高了功能性又降低20%以上的價(jià)格。
| 型號(hào) | FT110A |
|---|---|
| 測(cè)量元素 | 原子序號(hào)Ti（22）～Bi（83） |
| X射線源 | 空冷式小型X射線管 管電壓：50（可變更）kV 管電流：10～1000µA |
| 檢測(cè)器 | 比例計(jì)數(shù)管 |
| 準(zhǔn)直器 | ○型： 0.1 mmΦ、0.2 mmΦ 他2種 |
| 樣品觀察 | CCD攝像頭 |
| 對(duì)焦 | 激光對(duì)焦（自動(dòng)） |
| 濾波器 | 一次濾波器（自動(dòng)切換） |
| 樣品區(qū)域 | [固定]535×530 mm [電動(dòng)] 260×210 mm (移動(dòng)量X:250 mm, Y:200 mm) |
| 測(cè)量軟件 | 薄膜FP法（最大2層、10種元素）、檢量線法 |
| 安全功能 | 樣品室門聯(lián)鎖、樣品沖突防止功能、儀器診斷功能 |